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(ALP) System?提供了一種測試等離子體參數的關鍵的基礎的診斷工具?？梢詫χ饕牡入x子體參數進行實時在線監測：1、等離子密度；2、電子溫度；3、離子電流密度；4、等離子體點位；5、懸浮電位；6、電子能量分布函數（EEDF）；

Octiv Poly在線射頻VI 探測器，用于測量射頻源經過匹配后真實饋入到腔室（負載）中的電壓、電流、功率、相位、諧波、阻抗等各項參數主要特點：該探測器配備高速的數據采集系統，利用高速傅里葉變換可以精確的測量射頻電壓、電流和相位等參數。采集系統位于一個專門設計的緊湊外殼中，易于安裝在實驗室或工業環境的所有射頻設備上，通過USB、Ethernet等連接方式進行控制和傳輸數據。用戶能夠通過Oc...